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大幅面激光直写光刻机
行业类别：
激光技术及智能制造展
产品范围：
激光设备
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造,科研院所及高校
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产品介绍:
Maximum Exposable Area:1000*1000mm2 Light Source: 405nm GaN Laser Diode Maximum Write Speed:280mm2/min Minimum Feature Size:600nm
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