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无掩模板紫外光刻机
行业类别：
新型显示技术展
产品范围：
终端产品
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造,科研院所及高校
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产品介绍:
无掩模光刻设备基于空间光调制器的技术，实现了高速、高精度、高灵活性的紫外光刻。光刻机的分辨率和套刻精度决定了所制造的集成电路的集成度，这是光刻机品质的关键指标。
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