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FLAT-XY系列是纳米级定位精度的XY一体式运动平台，直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。它采用XY一体式设计，具有低侧面高度、阿贝误差小的特点， XY行程可以根据客户需求定制，可作为二维运动平台单独使用，也可以与VC60-5、ART130V-5升降台或者RSML系列转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户应用。

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