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产品介绍:
ZTT200是垂直升降与水平调平三轴一体式精密定位平台，利用三个直线电机驱动，采用精密球形铰链耦合，
具备非常优秀的微动精度和动态性能，整体高度小，尺寸精巧，厚度60mm，台面直径200mm，负载能力可达8kg
，兼容洁净室环境使用。
ZTT200是一款兼具点到点的静态定位精度，同时具备非常突出的动态精度，可以适应对微动和动态跟随误差
要求严格的晶圆检测、光学对准、面板检测或者无掩膜光刻等应用，可以根据传感器聚焦高度实时调整高度和角
度姿态，全方位解决客户的运动控制难题。
