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硅透镜阵列
行业类别：
信息通信展
产品范围：
光通信器件
应用领域：
光通信、信息处理/存储
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产品介绍:
硅透镜阵列是利用硅基半导体芯片加工工艺（包括光刻、干法刻蚀、光学镀膜、晶圆精密划切、可靠性实验等），将球面、非球面模板完整转移到硅基片表面，制备出硅基球面透镜、非球面透镜及透镜阵列。产品常用于数据中心100G、400G、800G等高速光模块，以及特殊光学器件的定制应用。 东辉光学已具备硅基球透镜阵列、非球透镜阵列生产的完整流程工艺模块，主要产品均已量产，东辉光学的硅透镜阵列技术位于国内前列水平。
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