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数字化直写光刻设备
行业类别:
新型显示技术展
产品范围:
显示制造装备
应用领域:
先进制造
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产品介绍:
苏大维格深研数字光场调控新机理,提出了数字化三维直写光刻系统的新构架、新算法,成功开发出多种型号与功能的数字化紫外直写光刻系统,覆盖4~120吋幅面。应用领域:泛半导体、光子器件、表面功能材料、先进传感、新型显示、公共安全、二维材料、柔性电子等。
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