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磁控溅射镀膜设备
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜设备
应用领域：
先进制造
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产品介绍:
MPAS(Microwave Plasma Assisted Sputering)装置是使用磁控溅射金属模式成膜,经反应室进行的方式来沉积光学薄膜的磁控溅射装置。采用高性能Microwave源,新型阴极靶材,高性能溅射电源,从根本上改善薄膜的性能,同时提高了生产能力
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