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纳米压痕仪
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学测量仪器
应用领域：
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造
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产品介绍:
TI980: 纳米压痕仪 先进薄膜与微结构表面力学性能测试系统，用于半导体表面各种材质薄膜的力学性能测试，以及膜层间结合力测试。设备还可搭配温度、气氛控制器，实现多样化测试。
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