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本电源具备如下显著特点： 1. 采用先进的逆变技术与进口IGBT模块搭配设计 2. 有效减少电荷累积效应，提升膜层质量 3. 理想的电压陡降特性，充分适配镀膜工艺连续性要求 4. 电源参数大范围连续可调，控制精度高 5. 具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能 6. 本电源适用于金属、合金、石墨等靶材镀制金属膜、碳膜以及部分氧化物、氮化物和碳化物膜等工艺

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