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FIS4干涉传感器由浙江大学、新加坡南洋理工大学教授团队倾力开发,拥有国内专利技术,将衍射与干涉相结合,实现了共路四波横向剪切干涉,具有超强的检测灵敏度与抗振性能,无须隔振即可实现实时、高速动态干涉测量;实时测量显示帧率达10帧以上。具有512×512(26万个相位点)的超高相位分辨率,测量波段覆盖200nm~15μm,测量灵敏度达2nm,测量重复性优于1/1000λ(RMS)。可用于激光光束质量分析、等离子体流场检测、高速流场分布实时测量、光学系统像质评价、微观轮廓测量及生物细胞定量相位成像等
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