AR9000RR

全自动环切设备
环切+自动去除晶圆环

多轴联动环切技术，保证环切精度。
定制化工作台设计，保证TAIKO工艺下晶圆特殊结构稳定加工。
四工位，多片协调加工，加工效率高。
全自动上下料、传输定位、清洗、解胶、取环，实现全自动运行模式，大大降低OP工作量。
稳定的TAIKO外环解胶和取环。
兼容性好，与市面上的其他类型设备，关键耗材兼容性高。
便捷的操作与人机交互界面

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