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在线式甲酸真空烧结炉VF400

行业类别:
激光技术及智能制造展
产品范围:
其他,请注明||IGBT功率器件
应用领域:
半导体加工/制造

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产品介绍:

1、设备共有4区,分别是:预热(2个)、加热、冷却(具备独立的工艺腔体);每个腔体都具备观察窗,工艺腔体压力在20-200pa。 2、设备支持氮气、甲酸(氮气+甲酸)气氛环境,并能精准控制;支持焊片工艺。 3、可编程多段抽真空功能:每个腔体具有独立的真泵及控制系统,真空度≤20pa,抽速200m^3/h,加装软抽阀,速率可调。腔体真空数值实时显示并可控制和调节。 4、采用加热板接触式加热,冷却板接触式散热,加热板和冷却板面积480*310mm,加热板隔层承重≥20公斤;升温速率1-3

展商信息: