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RTP系列真空退火炉采用红外辐射加热技术，实现快速升温，快速降温的真空退火设备。该系列设备快速升温、快速降温，可实现快速退火工艺、快速热处理工艺、快速氧化工艺、快速热氮化工艺以及金属合金化工艺。 RTP300真空退火炉采用上下红外加热方式，采用独特加热管安装方式，升温速度更快，加热温度均匀性更高，同时上下加热采用多温区分布，控温精度更高。

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