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iFM系列芯片位置测量设备
行业类别:
智能传感展
产品范围:
测试测量与生产设备
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造,传感及测试测量
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产品介绍:
iFM系列产品是星空科技自主研发的芯片位置测量设备,产品能够实现高精度测量样品图案位置信息,可应用于测量重构片位置、光罩图案位置等。
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