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微晶玻璃/TGV玻璃诱导蚀刻设备
行业类别:
激光技术及智能制造展
产品范围:
激光设备
应用领域:
半导体加工/制造
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产品介绍:
应用领域:
适用于半导体领域以及显示领域(兼容大幅面)玻璃基板加工
机台特点:
•采选超快飞秒激光器,可实现不同厚度的TGV(微晶)玻璃蚀刻诱导孔及异形诱导图形的制备;
•智能CCD视觉系统,加工精度高,速度快,孔圆度高,锥度小,深径比大,孔良率高;
•易操作的工控软件平台,可实现巨量图形快速读取,加工功能定制化;
•采用新型运动控制系统,大幅提升加工效率和质量。
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