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平面阴极设计特点：自主磁场设计：截面方向磁场马鞍形分布，可增加磁场跑道宽度，提高靶材利用率长度方向磁场强度波动小于5% 安装简单，标准化接口可根据需要定制磁场加强版，磁场强度较标准版增加一倍，满足特殊材料的溅射需求规格参数：通用规格尺寸：18吋，27吋，48吋，并可根据需要订制特殊规格磁场强度：280Gs，580Gs

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