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多功能反应离子束刻蚀机
行业类别：
激光技术及智能制造展
产品范围：
机器人及工业自动化
应用领域：
先进制造
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产品介绍:
IBPro-xxEtch系列反应离子束刻蚀机，是针对衍射光栅、衍射光波导等高精密微纳元件的加工而开发的电子专用设备。配备进口条形射频离子源和多维运动工作台，可支持大口径光栅刻蚀(全口径刻蚀均匀性优于5%)。可加工光栅最大口径达300mm×300mm，最大可支持基片厚度超100mm:真空腔体抽气时间短、极限真空度高，能够提供纯净的工艺环境;并支持多种不同工艺气体和混合气体刻蚀。
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