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Cluster团簇式薄膜沉积解决方案

行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜设备
应用领域：
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,先进制造,半导体加工/制造,安防/国防,能源,传感及测试测量,照明/显示,医疗,科研院所及高校
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产品介绍:

本设备为团簇式多腔室结构，可由传输室、工艺室、样品载入室、控制系统构成，传输腔体与各个功能腔体采用插板阀相连，可组成一个整体工作，也可以关闭插板阀后视为各自独立的系统工作。模块化设计，便于升级或改造，按客户需求量身定制解决方案。

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