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磁控溅射镀膜机

行业类别:
信息通信展
产品范围:
半导体设备及制造
应用领域:
半导体加工/制造,科研院所及高校

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产品介绍:

磁控溅射设备是一种多功能、高效率的镀膜设备。可以在陶瓷、玻璃、石英、硅片等基底材料上溅镀金属、非金属、氧化物、介质等材料的薄膜,如:Au、Al、NiCr、TiW、Si、Al2O3、Si3N4、ZnO、ITO等。溅镀膜层均匀、致密、附着力强,可应用到新型电子材料制备及光学、太阳能、半导体等领域。

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