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紫外/深紫外光刻机(半自动)
行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学元件加工设备
应用领域:
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,先进制造,半导体加工/制造,照明/显示,科研院所及高校
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产品介绍:
Phable X 是更适合工厂批量生产的自动化机台,单次曝光尺寸更大,兼容 8" 及以下基片;可以自动完成上下片,并能以最高1um精度完成自动套刻对准,极大降低人员操作故障率,生产效率高达30~40wph。
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