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旋涂玻璃液/旋涂介电层材料
行业类别：
信息通信展
产品范围：
半导体材料
应用领域：
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造,照明/显示
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产品介绍:
SOD (Spin-On Dielectric)是利用旋涂的方法进行介质层制作的勺技术。一般是将液态绝缘材料涂在晶圆上，然后通过旋转晶圆来形成一个均匀的薄膜。旋转过程中，多余的勺材料会被甩出。随后，该薄膜经过烘烤处理以固化并最终形成绝缘介质层。拥有绝佳的填洞能力及局部平坦化效果。SOD/SOG的流动性特点使其能够轻松渗透到细微的空隙中，能在空隙中形成极薄的绝缘层，为芯片提供完美的覆盖。
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