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550口径低温真空泵
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学元件加工设备
应用领域：
半导体加工/制造
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产品介绍:
低温真空泵是利用10K（-263℃）低温制冷机作为冷源，通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备。 低温真空泵广泛应用于： 半导体、集成电路、显示面板制造工艺 如:半导体镀膜、薄膜生长、离子注入、太阳能板、光电器件、分子束外延等 真空镀膜 如: 光学镜片镀膜、防护涂层、玻璃薄膜等 科研、大科学工程 如:空间环境模拟、真空排气台、真空炉、加速器真空系统、材料分析仪器、量子技
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