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氦气压缩机
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜设备
应用领域：
半导体加工/制造
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压缩机使用的是油润滑的涡旋泵，带有润滑油的氦气通过多级油分离系统后，纯度可达到99.999%，满足冷头使用需求
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