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FHR.Star.300枚叶式设备
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜设备
应用领域：
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,传感及测试测量
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产品介绍:
FHR.Star.300枚叶式设备用于晶片处理工艺，可处理直径最大200 mm (8 英寸) 的基材。设备由多个相连的腔室组成。中央区域作为传输腔室，配备重型机械手臂，可通过长方形端口连接高达八个模块。两个端口连接带盒式载片器的进样室，四个端口分别连接一个等离子体预刻蚀模块和三个溅射模块，通过直径为300mm的平面靶材实现DC、脉冲DC和反应DC工艺。基材装载通过传输系统完成。通过编程工艺流程，按顺序自动实现基片在各个腔室的工艺处理。
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