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金属氧化物半导体靶材
行业类别:
新型显示技术展
产品范围:
显示材料
应用领域:
半导体加工/制造,照明/显示,科研院所及高校
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产品介绍:
新视界可提供用于制作TFT有源层的溅射靶材(多种尺寸平面靶和旋转靶)。材料迁移率最高可达50cm²/Vs ,具备极佳的光热稳定性。靶材密度可达6.54 g/cm3,目前已在4.5代线上完成验证。此外,新视界还可以提供多种靶材(3~6英寸)验证。
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