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精密气浮平台
行业类别:
激光技术及智能制造展
产品范围:
3C电子智能装备
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造
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产品介绍:
產品描述 使用日系直線電機驅動,達到平台運動完全零損耗,非接觸氣靜壓導軌,零磨耗, 確保設備精度性能。實現次微米級定位、重複、水準跳動與直線精度。 產品特點 非接觸/零摩擦力/滑順/直線精度/潔淨 適用於光電半導體製程、檢測設備. 精密雷射加工設備
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