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团簇型多腔室薄膜沉积系统（Cluster）

行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜设备
应用领域：
半导体加工/制造,安防/国防,能源,传感及测试测量,照明/显示,科研院所及高校
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产品介绍:

团簇式多腔室薄膜沉积系统（Cluster），可组合离子束溅射镀膜腔、磁控溅射镀膜腔、蒸发镀膜腔、PECVD、ALD等多种工艺，实现产品不同工序/材料全自动镀膜，广泛应用于半导体、OLED、光伏钙钛矿等行业产品生产。

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