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台式机器人研抛一体机

行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学元件加工设备
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造

产品图片:

产品介绍:

基于工业机器人的小工具加工机床,利用小工具在元件表面高速旋动,实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。 利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头,确保抛光过程中材料去除函数稳定可控,从而实现超精密元件表面的高精度加工,配合全链路工艺、软件,实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。

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