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立式干涉检测工作站
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学测量仪器
应用领域：
先进制造
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产品介绍:
本产品采用自研高性能菲索激光干涉仪，结合精密气浮隔振、精密运动控制，以及微环境控制等技术，能够进行高精度的光学表面面形和曲率半径测量，是超精密光学加工制造过程所必须的核心检测装备，尤其适用于光刻曝光系统、缺陷检测系统等大尺寸、高精度光学元件检测场景。
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