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晶圆键合机
行业类别:
光电子创新展
产品范围:
高新技术企业
应用领域:
半导体加工/制造
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1.键合圆片直径:4"、6"、8";2.最大压力: 20kN(大压力可定制); 3.压力均匀性: ±5%;4.温度范围: ±2%; 5.温度均匀性:可升至450℃; 6.极限真空:5x10⁻³Pa;7.其他:可根据客户需求定制。
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