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皮米精度多轴测距激光干涉仪
行业类别：
红外技术及应用展
产品范围：
测试测量与生产设备
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造,传感及测试测量,科研院所及高校
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产品介绍:
采用法布里-珀罗干涉仪原理，支持3轴测量，最大测距达30m。分辨率达1pm，测量带宽达10MHZ，被测物速度可达2m/s，超高紧凑体积易于工业集成。支持极端环境测量，如高真空，强磁场，超低温，强辐射等。
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