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用于裸板检测设备用大尺寸分光镜，常用于27寸和30寸台面设备，性能赶超英国、德国同等产品。在分光镜片表面镀R:T=5:5的特殊介质膜层，使得入射光可以反射一半透射一半，从而把一束光分为反射的一束和透射的一束，形成两束光，参与完成反射瑕疵和相机抓取两个动作。 16k/5.0x高倍率大靶面镜头 MTF比竞品实测值高40%

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