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产品介绍:

气浮轴承纳米级平台的典型应用：纳米级精度要求多轴复合运动场合

产品主要特点：

1. 非接触式气浮导轨，无磨损
2. 直线度、平面度相比机械式有质的提升，可达0.7μm内
3. Pich、Yaw，可达±2 arc sec内
4. 高重复和定位精度，重复定位精度可达±0.1μm
5. 高运行平稳性，速度波动可达0.1%
6. 可采用铝合金、大理石、碳化硅等多种方案定制
7. 多轴结构定制，客制化程度高

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