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产品介绍:

气浮DD马达适用于：纳米级精度要求旋转运动场合

产品特点：

1. 非接触式气浮轴承，无磨损
2. 轴跳和端跳，可达±0.1μm，摆角角度±2μrad
3. Pich、Yaw，可达±2 arc sec内
4. 高重复和定位精度，重复定位精度可达±0.4μrad
5. 高运行平稳性
6. 可采用铝合金、大理石、碳化硅等多种方案定制

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