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光纤双频激光干涉仪
行业类别：
智能传感展
产品范围：
测试测量设备
应用领域：
半导体加工/制造
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该系列激光干涉仪同样基于双频外差干涉技术，并结合光纤传输技术，提高了使用的便捷性，主要应用于机床测校、精密轴系测校、各类运动平台测校及闭环反馈等领域。
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