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IG系列低温泵
行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学镀膜设备
应用领域:
半导体加工/制造
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产品介绍:
IG系列低温泵是带有快速再生和完全再生功能并能实现远程监控再生控制系统的全智能型低温泵。其主要特点有1.具有快速再生功能2.具有完全再生功能3.自动检测低温泵真空度4.智能的‘自适应’技术5.可实现本地或远程操作6.配置操作手柄,可实现故障查询及修改参数7.内部加热及充氮气全自动再生系统8.外置充氮气装置9.配置可接尾气处理装置的安全阀。
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