产品图片:
产品介绍:
产品在兼容立式工作站测量功能基础上，采用拼接测量原理，能够以较低的成本实现大口径平面镜片、球面镜片、极小F数镜片等特殊光学元件的面形检测。产品基于自研高性能激光干涉仪和子孔径拼接算法，测量精度高，重复性好，并且由于采用局部检测再拼接的技术路线，提高了检测空间分辨率，可以获得更全面的中高频信息，在全频段加工要求极高的超精密光学制造方面，已取得了良好的应用效果。可广泛应用于投影曝光系统中的大口径高精度球面元件检测，量检测、医疗成像系统中的小F数元件检测等领域。
