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产品介绍:
产品为面向量检测设备所需的高精度明场暗场检测光学系统。明场系统工作波长为深紫外至可见光，并可匹配照明系统、自动对准系统和成像系统，可根据客户需求配置变倍模式、对焦模式、光瞳设置模式等多种功能，可以显著提升明场检测设备的整机性能和工艺性能。暗场系统工作波长为193nm、266nm、488nm等其他定制波长，可为单波长系统，也可根据客户需求兼容多个工作波长。SolarInspec 产品可根据设备整机的特定需求进行定制开发，支撑客户的芯片缺陷检测设备达到7nm工艺节点。
