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磁悬浮分子泵
行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
其他,请注明||磁悬浮分子泵
应用领域:
半导体加工/制造
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产品介绍:
MTP系列磁悬浮复合分子泵采用一体式控制器,具有高抽速、高稳定性、耐腐蚀、易安装等优点,被广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体工艺制程。
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