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渐变式螺杆真空泵SSH系列
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
其他，请注明||干泵
应用领域：
半导体加工/制造
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产品介绍:
自主开发专利设计较其他螺杆型线更节能;
SSH系列选配加热系统,避免制程物沉积;
自主开发永磁同步水冷电机及水冷变频器,达到欧盟IE4节能等级;
拥有高通信互联网功能,随时随地通过互联网界面,监控任何一台真空泵的运行状态;
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