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碳化硅真空吸盘，常压烧结碳化硅材料具有高的弹性模量和比刚度，不易变形，并且具有较高的导热系数和低的热膨胀系数，热稳定性高。碳化硅吸盘材料致密均匀无缺陷，可加工性好，可实现高面型精度、高形位精度，可实现表面凸点结构、多孔结构、集成气道等特殊结构，碳化硅真空吸盘主要应用于光刻、蚀刻、晶圆检测、键合、固定晶圆等。

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