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该设备采用金属模式溅射技术与RF-ICP/CCP离子源相结合，进出料室配备机械手自动传输基片，批量生产中的均匀性<1%，实现高质量生产。可制备截止滤光片、带通滤光片、RGB滤光片、AR膜、硬质AR膜、HR膜、AS/AF膜、AR+DLC+AS/AF膜、ITO膜、红外AR膜、冷光膜等，广泛应用于光学镜头、显示器、车载中控屏、激光雷达、HUD抬头显示器等。

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