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超精密恒温恒湿空调系统
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
其他，请注明||超精密恒温恒湿温控设备
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造
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产品介绍:
超精密恒温恒湿空调主要应用于半导体制程及超精密加工环境控制
温度控制精度：±0.5℃～±0.02℃
湿度控制精度：±5％～±0.5％
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