纳米压印设备

一款全自动纳米压印设备，兼容8inch、12inch基板，可便捷更换；整机采用模块化设计，集成EFEM、spin coater、HP、CP、NIL、Frame loading Unit、Pre-aligner、RF-reader等功能模块，可根据对量产能力的需求，增加子模块，具有良好的拓展性；配合光舵自研的智能操控软件，所有动作均可全自动完成；压印最小线宽30nm
，深宽比达10：1，与母版尺寸偏差＜3%，对位精度±2um；同时具有优良的生产稳定性和高洁净等级。

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