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多自由度压电并联运动台
行业类别：
激光技术及智能制造展
产品范围：
激光组件及辅助系统
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造
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产品介绍:
多自由度压电并联运动台，完全静音驱动，纳米级最小步伐；多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高。产品线包含多尺寸6自由度运动台，实现X/Y/Z方向平动及θX/θY/θZ方向角摆运动；3自由度运动台，实现Z方向垂直运动及TxTy两轴摇摆运动。
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