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纳米压电运动台
行业类别：
激光技术及智能制造展
产品范围：
激光组件及辅助系统
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造,高校/科研院所
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纳米级压电运动台，涵盖平动、转动、倾摆等自由度的全品类全环境的压电位移台，实现纳米级高精度运动控制，可自由堆叠实现多自由度运动，支持特殊环境工作 (超高真空，完全无磁&极低温)，可满足大负载、长行程、高速等定制需求。
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