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纳米压电扫描台
行业类别：
激光技术及智能制造展
产品范围：
激光组件及辅助系统
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造,高校/科研院所
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纳米级压电扫描台，行程覆盖10-1000 μm。柔性铰链导向，完全无摩擦；纳米级重复定位精度，亚纳米空间分辨，多自由度并联结构设计，电容闭环传感；支持特殊环境工作 (超高真空，完全无磁&极低温)
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