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激光干涉仪
行业类别：
激光技术及智能制造展
产品范围：
激光设备
应用领域：
半导体加工/制造,传感及测试测量,高校/科研院所
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支持皮米级高速测距，工作距离0-10 m，最大目标速度3.8 m/s；单台配备3个测量通道，可独立测量3个线性运动自由度；提供紧凑尺寸的光纤探头，支持特殊环境工作 (超高真空，完全无磁&极低温)
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