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193nm单频连续激光器
行业类别：
激光技术及智能制造展
产品范围：
激光器
应用领域：
半导体加工/制造
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产品介绍:
193nm激光器是光刻，干涉度量分析，准分子激光器的种子源，光谱仪校准等应用的重要光源。目前频准激光可提供连续输出，3mW功率的窄线宽激光器，线宽<100kHz, 且可以提供锁频配置，激光器可以稳定运行，具有长寿命，维护方便，稳定性好的特点。
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