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VMET.FHR.Star220
行业类别：
智能传感展
产品范围：
其他，请注明||真空镀膜设备
应用领域：
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,先进制造,安防/国防,能源
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产品介绍:
VMET.FHR.Star.220 是一种用于基于晶圆的微电子的集群式系统，可处理直径最大为 100 毫米（4 英寸）的晶圆状基板。具有最大的灵活性，由于模块化的系统概念可根据客户需求定制配置，全自动过程控制，快速和容易的靶材更换。
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